過熱蒸汽瞬時滅菌對于滅菌工藝來說，雖然過熱蒸汽溫度更高，具有比飽和蒸汽更多的熱量，但過熱部分的熱量與飽和蒸汽冷凝所放出的汽化潛熱相比卻非常的小。從過熱蒸汽溫度降至飽和溫度的時間長，使用過熱蒸汽加熱將降低效率。對滅菌來說，蒸汽冷凝放熱的效率影響滅菌的實際效果。有時即使使用自備鍋爐或蒸汽發生器產生飽和蒸汽，但是飽和蒸汽在進入滅菌柜前的蒸汽調壓也會導致飽和蒸汽變成過熱蒸汽。
蒸汽減壓是一種絕熱膨脹，上游高溫高壓蒸汽的減壓，只有通過提高下游蒸汽的過熱度來保持能量守恒。通過蒸汽減壓閥的壓力下降產生的蒸汽過熱度取決于減壓比，也取決于上游蒸汽的實際情況，如果已經知道上游蒸汽是濕蒸汽，下游有可能為濕蒸汽、干飽和蒸汽或者過熱蒸汽，具體是哪種狀態取決于壓降。允許的出口流速取決于蒸汽的狀態。
必須注意的是當蒸汽中含有3%以上的冷凝水時，雖然蒸汽的溫度達標，但由于分布在產品表面的冷凝水對熱量傳遞的阻礙，蒸汽溫度經過冷凝水膜時會逐步遞減，使得到達產品的實際滅菌溫度會低于滅菌溫度要求。特別是蒸汽攜帶的水，其水質可能會污染滅菌產品。
如何保持過熱蒸汽瞬時滅菌的干飽和狀態，既不過熱也不潮濕，是滅菌蒸汽的要求和檢測標準。
實際應用中往往通過檢測蒸汽溫度來控制滅菌效果，但是蒸汽溫度和滅菌產品最不利滅菌點要求溫度有時會不同。
比如當蒸汽中含有冷凝水時（不*干燥），雖然檢測蒸汽的溫度達標，但由于分布在產品表面的冷凝水對熱量傳遞的阻礙，使得到達產品的實際滅菌溫度會低于滅菌溫度要求。特別是鍋爐攜帶的爐水，其水質可能會污染滅菌產品。
空氣等不凝性氣體如果不能*排盡，或在進蒸汽時混有空氣，空氣會對蒸汽的滅菌溫度形成另外的影響，當滅菌柜室內的空氣未排除或未*排除會導致嚴重的滅菌問題。
